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北方华创微电子立式高温氧化炉批量中标8吋线名目

 近日,南方华创微电子研制的8英寸集成电路特色工艺线项目,获得批量订单,用于产物的低温氧化工艺制程。


近年来,南方华创的90/65/45/28nm技巧代集成电路生产线的工艺验证,实现产线应用。随着国内8英寸装备的需求释放。南方华创利用多年8英寸立式低温氧化炉。该产物基于同一套经过量产验证的高稳定性、高可靠核心控制系统架构,采用了高精度先进温度场控制算法和控制系统以及成熟的自立知识产权软件平台,适用于90nm及以上技巧代的干氧氧化、湿氧氧化和低温退火等工艺。


以后,南方华创曾经具有PECVD、<span color:#333333;"="" style="line-height: 1.5;font-family: ''">LPCVD、立式氧化炉、卧式分散炉、单片清洗机及全自动槽式清洗机等工艺装备。