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北方华创Al Pad PVD成功进驻上海集成电路研发中间

 2019年3月13日,南方华创再传捷报,由南方华创下属子公司南方华创微电子自主开发的Al Pad PVD成功进驻上海集成电路研发中心。


  南方华创微电子Al Pad PVD装备主要应用于90-14nm技巧节点的Bond Pad和Al Interconnect工艺,装备突破了大产能传输平台、高温静电卡盘、先进磁控溅射源等一系列关键技巧,解决了厚铝粘片、晶须缺陷等技巧难题,装备综合性能达到国际领先水平,得到业内普遍承认。客户普及Logic、DRAM、Nor flash、3D NAND、FPD等范畴,而且已成为多家集成电路制作企业的Baseline装备。Al Pad PVD装备良好的用户口碑和客户端稳定量产的卓越表示,为其赢得了国内外众多厂商的确定和好评。同时,该装备也凭借优越的机台表示和普遍的市场承认荣获了首届集成电路财产联盟创新奖。