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周全结构,南方华创带您明白民族半导体装备的科技之美

备受瞩目标SEMICON China 2019展览于2019年3月14日在上海新海内博览中间准期隆重揭幕,北京华创再次重磅表态,周全展现为集成电路、先辈封装、半导体照明、功率半导体、微电机系统、化合物半导体、平板表示及新能源光伏等范畴量身定做的Etch、PVD、CVD、Furnace、Wet Clean、MFC等高端半导体工艺设备及焦点零部件的解决方案。


此中,在集成电路芯片制作范畴,南方华创微电子领有刻蚀机、PVD、单片退火设备、氧化炉、退火(合金)炉、LPCVD和洗濯机七类产物。颠末十七年的不懈努力,这些产物曾经周全在中国支流的几家集成电路芯片厂稳固量产。此中,由南方华创自立研发的利用于14nm先辈制程的等离子硅刻蚀机、Hardmask PVD、Al-Pad PVD、ALD、单片退火系统、LPCVD已正式进入集成电路支流代工场;Hardmask PVD、Al Pad PVD设备胜利进入海内供应链系统;12寸65/55nm洗濯机单机累计流片量已冲破120万片大关;深硅刻蚀设备也已胜利进入东南亚市场。别的,利用于28nm的Hardmask PVD系统工艺设备、利用于28/40nm的单片退火设备、利用于55nm的硅刻蚀机均被海内抢先集成电路芯片制作企业指定为Baseline机台。利用于薄膜/厚膜硅内涵的APCVD系统能满意内涵厂和芯片厂的差异化需要,持续两年斩获客户大批量定单,获得客户和市场同等承认,完成了中国半导体设备制作技巧一个又一个里程碑式的跨越。

在先辈封装范畴,南方华创微电子的等离子刻蚀机,PVD和Descum等设备已获得周全利用,如WLCSP, TSV, Copper pillarbump, Gold bump等。在CIS WLCSP利用中,南方华创微电子的PVD成为12寸临盆线baseline机台,凭仗稳固良好的表示,持续获得反复定单,并助力客户赓续获得高端客户定单。在近几年的新增市场中,南方华创TSV刻蚀机在大陆地域坚持着较大的市场占有率。Copper PillarBump方面,PVD设备已进入大陆前两大封测厂临盆线,Descum设备也已获得前两大封测厂的反复定单;Gold Bump方面,南方华创的PVD设备在大陆紧张金凸块封测厂均完成贩卖。跟着先辈封装技巧向高密度和高集成度成长,将更多的使用到通孔技巧和重布线技巧,意味着有更多的等离子刻蚀和PVD设备需要,这一趋向与南方华创微电子的焦点上风产物高度符合,南方华创微电子将持续在该范畴供给更新的技巧,和加倍优质的产物和办事。

在LED范畴,ELEDE系列刻蚀机自2010年面市以来装置量曾经冲破三百台,此中380G系列刻蚀机在2014~2017年的新增市占率较高,实在成为了行业标杆机型,是海内各大芯片企业扩产的紧张产物。南方华创自立研发的AlN溅射设备自开辟以来,引领LED新技巧成长趋向,赞助客户节俭内涵产能且有用晋升芯片发光亮度和良率等各项目标,已成为LED不可或缺的制程设备,更是大批获得了美国和台湾地域的反复定单,停止2017岁尾销量已冲破百台。而异样面向LED芯片制作的EPEE550系列PECVD,遭到全行业高度承认。南方华创微电子在LED范畴产物机能良好,赓续晋升办事、完美技巧解决方案,坚持以客户为中间,持续赓续的立异成长,力图为行业成长做出更大的进献!

面向今朝高速增长的MEMS及新兴市场,南方华创微电子用于MEMS芯片制作的深硅刻蚀设备和通用硅刻蚀设备,已批量销往多家科研机构及临盆线,办事于MEMS及微纳制作、光通信等多个新兴范畴,客户装置量跨越50台。

在第三代半导体范畴,南方华创冲破传统设备计划思绪,将SiC刻蚀、GaN刻蚀、介质刻蚀、低温炉、LPCVD、PECVD和PVD等症结制程设备成长成为行业标杆企业支流机台,可供给第三代半导体功率器件和射频微波器件全体解决方案。别的,公司自立开辟的卧式LPCVD设备也完成了新的利用——半导体级碳纳米管的发展,该利用已胜利在客户端上线。

在新能源光伏范畴,南方华创微电子研制的利用于高效光伏电池临盆的新型负压分散炉销量稳居海内前线,脱销海内外;其大产能PECVD,顺遂获得外洋客户定单;利用于新能源光伏范畴的全自动多晶黑硅制绒机、在线湿法刻蚀洗濯机、在线湿法制绒机、卧式氧化分散炉、PECVD等设备均已完成入口代替。

在平板表示范畴,作为TFT-LCD临盆线的设备供给商,公司自立研发的Grind Cleaner、Indexer等设备均在海内市场盘踞紧张份额,所供给的各种设备在客户端的5代线、6代线、8.5代、10.5代线和OLED临盆线批量稳固临盆,别的公司新增的环保类设备也已胜利进入京东方各世代临盆线,为客户发明经济效益。

别的,南方华创微电子在气体流量丈量和节制方面领有多项症结技巧上风,MFC产物行销泰西,在海内市场中长期盘踞紧张的行业位置,从2010年至今已累计贩卖冲破20万台。

值得一提的是,南方华创于2019年1月顺遂完成对美国Akrion System LLC公司的收买,该公司作为洗濯机的设备商,领有兆声波同性换能器制作、试验及标定平台试验室。整合后的洗濯营业包含单片洗濯和批式洗濯两大产物线,笼罩工艺品种进一步增多,包含Pre Film Deposition Clean, PR Strip, Backside Clean, Wafer Reclaim,Post Etch Clean, SiN/Oxide Etch, Post Metal Deposition Clean 和 Al Pad Clean等症结洗濯工艺,无力晋升了南方华创微电子洗濯设备营业的全体市场竞争力。

财产风口,政策支撑,资金充分,市场活泼。在2016年,南方微电子和七星华创掌握期间机会,不负复兴重担,顺遂完成企业重组。上风互补,再次出发,旨在打造中国抢先的半导体设备财产平台,这是优良品德和卓著办事无力明证,也是作为一个为环球半导体制作用户供给更具竞争力的半导体制作设备和先辈制程解决方案的海内品牌的果断一步。2018年1月,南方华创微电子完成了对美国Akrion公司的收买,使得南方华创微电子有能力更好地为环球规模的客户供给周全的洗濯工艺设备解决方案。

南方华创微电子将继承以“发明优良,打造民族自负”为己任,发挥“优良品德·卓著办事·中国制作”的企业精力,以高端微电子工艺设备抢先企业的姿势登上天下舞台,深耕成长,引领将来,坚持以客户需要为导向的持续立异,助推财产技巧提高,带给财产无穷能够。

上海新海内博览中间,N3馆3339展位,咱们等待与您相遇,同享行业盛典。