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北方华创微电子集成电路PVD设备安装量跨越100腔室

初春三月,春暖花开。南方华创微电子PVD设备在集成电路支流生产线装置量跨越100腔室。这是南方华创在集成电路范畴市场化道路上的里程碑式的跨越,是国产高端PVD设备在集成电路范畴的全面冲破。


PVD设备是集成电路制造制程焦点的薄膜工艺设备。南方华创是国内少数几家的集成电路PVD设备生产厂商之一,领有磁控溅射源设计、等离子产生与控制等多项焦点技巧,并领有自主知识产权。南方华创率先推出的TiN Hardmask PVD体系、Al Pad PVD体系等产物,已经利用于28nm及14nm工艺制程。其中,TiN Hardmask PVD体系已成为28nm大生产线中国产Baseline机台。TiN Hardmask PVD以优越的工艺表现获得国内支流客户的青睐。Al PadPVD体系,也顺利打入国内供应链体系,完成了在逻辑、存储和新型显示等多个范畴的利用。


除在集成度电路范畴利用外,南方华创PVD设备技巧也延长利用于先辈封装和半导体照明等范畴。从2012年该设备进入产线利用开端,至今已完成跨越320个工艺腔室的销售装置,累计量产跨越800万片。


半导体设备是半导体财产的根基支持财产。从国度科技严重专项实施以来,国产高端集成电路工艺设备完成了从无到有,从有到用的冲破。南方华创除PVD设备产物外,刻蚀机、CVD、氧化炉、退火炉、合金炉、清洗机等集成电路工艺设备均完成了财产化利用,成为国内主要的集成电路高端工艺设备供应商。